遭遇猥亵性骚扰后，若行为人不愿赔偿，受害者可通过法律途径维护自身权益。具体分析如下：
一、刑事附带民事诉讼途径

1. 提起时机：在刑事诉讼过程中，包括侦查、审查起诉、审判阶段，受害者因猥亵行为遭受物质损失的，有权提起刑事附带民事诉讼。
2. 赔偿范围：主要涵盖直接物质损失，如医疗费、误工费、护理费、交通费等。需提供相应证据支持，如医院诊断证明、误工证明、交通票据等。
3. 执行方式：若行为人不履行赔偿义务，受害者可在判决生效后申请强制执行，法院将采取多种强制措施确保赔偿履行。
   二、单独提起民事诉讼途径
4. 适用情形：受害者也可选择不通过附带民事诉讼方式，或在刑事诉讼结束后发现新损失时，单独向人民法院提起民事诉讼。
5. 诉讼时效：根据《民法典》第一百八十八条，请求保护民事权利的诉讼时效为三年，自权利人知道或应当知道权利受损及义务人之日起计算。
6. 赔偿范围拓展：单独诉讼中，除物质损失外，符合条件的还可主张精神损害赔偿，具体数额由法院根据案情确定。
   三、其他救济措施
7. 司法救助：经济困难的受害者可依据《诉讼费用交纳办法》向法院申请缓交、减交或免交诉讼费用。
8. 法律援助：符合条件的受害者可向法律援助机构申请免费法律服务，包括指派律师代理案件等。